NG体育·(中国)官网APP下载

　　NG体育sportsNG体育sportsEUV极紫外光刻机是全球光刻机发展的历史转折点，被称为“现代光学工业制造之花”，其制造难度之大全球唯有ASML公司才能生产。

　　根据观研报告网发布的《中国EUV极紫外光刻行业发展趋势调研与未来投资研究报告（2023-2030年）》显示，EUV与DUV光刻区别在于所使用的理论分辨率、物镜组和光源不同，ArF则是DUV深紫外光刻机所用的光源。

　　2007年，ASML推出第一台浸没式光刻机TWINSCANXT:1900i。浸入技术：镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，采用纯净水且折射率为1.44，所以ArF光线加浸入技术实际等效的波长为134nm(193nm波长/水折射率1.44=134nm)。

　　2017年，ASML成功研发出第五代EUV光刻机，采用将准分子激光照射在锡等靶材，激发出13.5nm光子，作为光刻机光源。

　　ASML目前使用的EUV光源是“高能脉冲激光打击到锡液滴靶上，形成等离子体，等离子体的发光被聚光镜收集作为光刻光源”在这个过程中要控制锡液滴的流速，让高能脉冲激光每发射一次，就能够打击到锡液滴靶上NG体育app，形成等离子体。

　　光刻机行业产业链中最为核心设备分别为光学镜头和光学光源，其镜头控制光学系统的精密度以及光源决定使用的波长，光刻物镜数值孔径与光源波长决定了光刻机的工艺能力。

　　高精密光学镜片是光刻机核心部件之一，高数值孔径的镜头决定光刻机分辨率以及套值误差能力，EUV极紫外光刻机唯一可使用的镜头由卡尔蔡司生产。

　　1、安防视频监控市场：中国厂商占主导，但国际高端市场仍被日系等厂商占据；

　　2、车载镜头：市场集中度较高，市场仍以日系和美系光学厂商为主NG体育app，中国仅舜宇光学处于领先位置；

　　3、新兴消费类电子：市场细分较多，且多数仍处于前期培育阶段，光学镜头厂商市场集中度较低，无明显优势厂商；

　　4、机器视觉：市场主要被德系和日系光学厂商占据。在光刻机领域，全球光学镜头可用于光刻机仅为三家，分别为卡尔蔡司、尼康和佳能。而用于超高端EUV极紫外光刻机镜头便由卡尔蔡司提供，长期以来为ASML光刻设备提供高效能光学镜头NG体育app。